MF5000 MEMS質量式氣體流量計 / 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計
MF5000 專為工業(yè)環(huán)境設計，在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計量程比大大提升，

管徑范圍3.0mm~19.0mm，具有多種信號輸出及通訊接口 本產品在性能、 安裝可廣泛應用于

石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域

【測量類型】
氧氣、氮氣、氦氣、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣、二氧化碳...等

【應用環(huán)境】
工業(yè)制造業(yè)的用氣測量及程控、
醫(yī)療設備 (如：醫(yī)療麻醉與呼吸設備、醫(yī)院供氧/制氧設備、分床計費系統(tǒng))

環(huán)保領域、食品加工、科學氣體分析儀器、樓宇自控、保健設備...等

【何謂MEMS(Micro-electromchanical System)？】
MEMS是將微電子技術與機械工程融合的一種工業(yè)技術；而MF系列氣體流量計采用MEMS芯片及專利的封裝技術，
相較于傳統(tǒng)的熱式質量流量計，MEMS質量流量計，體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應速度快、測量結果更精確可靠

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